Preferencje help
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników
2011 | 120 | 6A | A-58-A-60
Tytuł artykułu

The Influence of Growth Temperature on the Properties of AlN Films Grown by Atomic Layer Deposition

Autorzy
Treść / Zawartość
Abstrakt, słowa kluczowe
Źródło
Twórcy
Bibliografia
Dodatkowe informacje
Warianty tytułu
Języki publikacji
EN
Abstrakty
EN
In this work, we explored the influence of the low growth temperatures on the structural and optical properties of AlN films grown by plasma enhanced atomic layer deposition using trimethylaluminum and ammonia (NH_3) plasma. Structural and optical results show that AlN films grown by self-limited plasma enhanced atomic layer deposition are polycrystalline at temperatures as low as 100C.
Słowa kluczowe
EN
Czasopismo
Acta Physica Polonica A , ISSN 0587-4246
Rocznik
Tom
120
Numer
6A
Strony
A-58-A-60
Opis fizyczny
Daty
wydano
2011-12
Twórcy
autor
  • Physics Department, Faculty of Arts and Sciences, Marmara University, Istanbul 34722, Turkey
autor
  • UNAM - Institute of Materials Science and Nanotechnology, Bilkent University, 06800 Ankara, Turkey
autor
  • UNAM - Institute of Materials Science and Nanotechnology, Bilkent University, 06800 Ankara, Turkey
Bibliografia
  • [1] E.F. McCullen, J.S. Thakur, Y.V. Danylyuk, G.W. Auner, L.W. Rosenberger, J. Appl. Phys. 103, 063504 (2008)
  • [2] Y. Lee, S. Kang, Thin Solid Films 446, 227 (2004)
  • [3] J. Khoshman, M.E. Kordesch, J. Non-Cryst. Solids 351, 3334 (2005)
  • [4] D. Riihela, M. Ritala, R. Matero, M. Leskela, J. Jokinen, P. Haussalo, Chem. Vap. Dep. 2, 277 (1996)
  • [5] H. Kim, J. Vac. Sci. Technol. A 21, 2231 (2003)
  • [6] M. Rittala, M. Leskela, in: Hand Book of Thin Film Materials, Ed. H.S. Nalwa, Academic Press, New York 2002, p. 103
  • [7] K. Kim, N. Kwak, S. Lee, Electr. Mater. Lett. 5, 83 (2009)
  • [8] M. Bosund, T. Sajavaara, M. Laitinen, T. Huhtio, M. Putkonen, V.M. Airaksinen, H. Lipsanen, Appl. Surf. Sci. 257, 7827 (2011)
  • [9] X. Liu, S. Ramanathan, E. Lee, T.E. Seidel, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 811, 11 (2004)
  • [10] L. Rosenberger, R. Baird, E. McCullen, E. Auner, G. Shreve, Surf. Interface Anal. 40, 1254 (2008)
  • [11] S. Schoser, G. Brauchle, J. Forget, K. Kohlhof, T. Weber, J. Voigt, B. Rauschenbach, Surf. Coat. Technol. 103-104, 222 (1998)
Kolekcja
PCP
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.bwnjournal-article-appv120n6ap17kz
Identyfikatory
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.