Mikroelektromechaniczne systemy (MEMS) znajdują szerokie zastosowania w realizacjach układów scalonych na potrzeby współczesnych systemów radiokomunikacyjnych, radiolokacyjnych, GPS itd. Wytwórnie układów scalonych oferują usługi umożliwiające wytwarzanie MEMS i ich integrację z układami scalonymi. Podano informacje o technologii i rodzajach MEMS do zastosowań radiowych i mikrofalowych. Omówiono struktury i modele obwodów zastępczych oraz podano osiągane parametry waraktorów, cewek, przełączników, rezonatorów i linii transmisyjnych realizowanych jako struktury MEMS. Omówiono zastosowania układowe tych elementów.
EN
Micro Electro Mechanical Systems have been widely used in microwave an radio-frequency monolithic integrated circuits for radiocommunications an radar systems. Integrated circuits foundaries offer manufacturing service which allow integration of MEMS structures with electronic circuits on on semiconducor chip. This paper presents basic information and ideas o MEMS technology, electrically different MEMS structures and their applications in RF and microwave circuits and systems. There are presented mechanical structures, electrical models and electrical parameters of MEM: elements which are used as varactors, inductors, switches, resonant circuit and filters, and planar transmission lines at RF and microwave frequencies
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.