Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

1 Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

1 2008

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: rapid thermal processing

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Pomiary pirometryczne w modelowaniu termicznym lampy halogenowej stosowanej w procesie RTP

Warzecha M., Jankowski H., Maksymowicz L., Pisarkiewicz T.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

2008

Vol. 49, nr 6

201-202

W pracy przedstawiono wyniki pomiarów pirometrycznych i ich wykorzystanie w budowaniu termicznego modelu lampy halogenowej. Żarnik lampy halogenowej jest źródłem strumienia promieniowania termicznego wykorzystywanego jako czynnik grzewczy w procesie RTP (Rapid Thermal Processing). Bazując na klasycznym modelu promieniowania termicznego, autorzy podają sposób wyznaczenia nieznanych, zależnych od temperatury, współczynników materiałowych, niezbędnych do zbudowania modelu. Zastosowane w symulacjach wymuszenie napięciowe pozwoliło na weryfikację modelu w porównaniu z danymi uzyskanymi eksperymentalnie.

In this paper the results of pyrometric measurements of a halogen lamp filament are presented. The measurements were applied for creating the thermal model of the lamp. The model is based on a classic Boltzmann radiation theory with conducting linear component. The use of supply voltage in the model equation allows to compare computed and measured data.