Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

1 Prace Przemysłowego Instytutu Elektroniki

1 2004

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: quartz reactors

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Bezpieczeństwo procesu syntezy i polikrystalizacji fosforku indu

Orzyłowski M., Rudolf Z., Witowski A., Machalica P.

Prace Przemysłowego Instytutu Elektroniki

2004

nr 150

172--184

Proces syntezy i polikrystalizacji fosforku indu przebiega w hermetycznych reaktorach kwarcowych w temperaturze do 1100°C oraz przy ciśnieniu dochodzącym do 3 MPa bez możliwości bezpośredniego pomiaru tych wielkości wewnątrz reaktora. Nieprawidłowości przebiegu procesu mogą, doprowadzić do eksplozji lub implozji reaktora i w konsekwencji zniszczenia pieca oraz zanieczyszczenia wnętrza autoklawu przez substancje, które są agresywne, palne i trujące, np. biały fosfor. Ze względu na niemożność sterowania bezpośredniego przebiegiem procesu konieczne stało się pośrednie wieloetapowe sterowania rozkładem temperatury wielosekcyjnego grzejnika. W pierwszej części artykuł omawia konstrukcje urządzenia i sposób jego sterowania i autodiagnostyki. Druga część jest poświęcona sposobom wykrywama obecności niebezpiecznych substancji na zewnątrz reaktora.

The process of synthesis and polycrystallization of indium phosphide is realized in hermetic quartz reactors in temperature up to 1100°C and pressure up to 3MPa without possibility of direct measurement of these variables inside reactor. The irregularities of the process realization can cause explosion or implosion and in consequence destruction of the furnace and contamination of the autoclave by chemicals which are aggressive, flammable and poisonous e.g., white phosphorus. Because of impossibility of direct control of process realization the multi-step indirect control of temperature distribution of the multi-section heater is necessary. The first part of the paper describes construction of the installation and way of the control and the autodiagnostics. The second part is devoted to methods of detection of hazardous chemicals outside of the reactor.