Źródła szumów pojemnościowych akcelerometrów mikromaszynowych

• Autorzy: Pietrzak P. , Napieralski A.
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Mikromaszynowe czujniki drgań stanowią altematywę dla stosowanych obecnie w nadzorze stanu techniczngo urządzeń kosztownych czujników piezoelektrycznych. W oparciu o schemat blokowy przykładowego akcelerometru mikromaszynowego, artykuł wskazuje i omawia poszczegóIne źródła jego szumów. Zrozumienie ich charakteru stanowi punkt wyjscia dla badań mająych na celu opracowanie filtru rcdukującego udział sygnału szumów w sygnale wyjściowym akcelerometru mikromaszynowego, wykorzystującego pojemnościową metodę pomiaru przyspieszenia.

Słowa kluczowe

PL

akcelerator mikromaszynowy

EN

accelerator

• Wydawca: Katedra Mikroelektroniki i Technik Informatycznych Politechniki Łódzkiej
• Czasopismo: Mikroelektronika i Informatyka : prace naukowe
• Rocznik: 2004
• Tom: Z. nr 4
• Strony: 131--135
• Opis fizyczny: Bibliogr. 7 poz., wykr.

Twórcy

autor

Pietrzak P.

autor

Napieralski A.

Bibliografia

• [1] Chau K.H.L., Lewis S.R., Zhao Y., Howe R.T., Bart S.F., Marcheselli R.G., “An integrated force-balanced capacitive accelerometer for low-g applications”, Sensors and Actuators A 54, 1996.
• [2] Zhang G., “Design and Simulation of A CMOS- MEMS Accelerometer”, B.S. Tsinghua University, 1998
• [3] Kulah H., Chae J., Najati K., „Noise analysis and characterization of a sigma-delta capacitive silicon microaccelerometer”, WIMS, The University of Michigan, czerwiec 2003
• [4] Lemaire C., „New Generation of Micromachined Accelerometers and DSP Offer Low Cost Alternative to Machine Condition Monitoring”, strona domowa firmy Analog Devices, www.analog.com
• [5] Szaniawski K., Napieralski A, Sękalski P., Podsiadły P., „Design of a Prototype of a 3-Axis Capacitive Acceleration Sensor”, MIEL 2004, Nis, Serbia, 16-19 May 2004, pp. 219-222, ISBN 0-7803-8166-1
• [6] Pietrzak P., Kulesza Z., Tylman W., Piotrowicz M., Napieralski A., Bytnar A., Mikromaszynowe czujniki drgań w nadzorze stanu technicznego dużych maszyn wirnikowych” SME 2004, Hajnówka, 15-18 czerwca 2004
• [7] Sprawozdanie z realizacji Projektu Badawczego nr 8 T11 В 021 19, „Zintegrowane metody projektowania mikrosystemów krzemowych i ich zastosowanie do opracowania mikrosystemu służącego do monitoringu wibracji dużych maszyn wirnikowych”, Katedra Mikroelektroniki i Technik Informatycznych Politechniki Łódzkiej, wrzesień 2004.