Narzędzia help

Preferencje help
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników
last
cannonical link button

http://yadda.icm.edu.pl:80/baztech/element/bwmeta1.element.baztech-article-BWA2-0009-0046

Czasopismo

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

Tytuł artykułu

Diagnostyka materiałów i układów mikro- i nanolektronicznych metodami modularnej mikroskopii bliskich oddziaływań

Autorzy Gotszalk, T.  Radojewski, J.  Szeloch, R.  Marendziak, A.  Sikora, A.  Hasek, T.  Kolanek, K.  Grabiec, P.  Rangelow, I. 
Treść / Zawartość
Warianty tytułu
EN Diagnostics of microelectronical devices and materials using scanning probe microscopy
Konferencja Krajowa Konferencja Elektroniki (3 ; 16-18.06.2004 ; Kołobrzeg, Polska)
Języki publikacji PL
Abstrakty
PL Przedstawiono możliwości obserwacji właściwości układów i materiałów mikro- i nanometrowych oraz nanoelektronicznych metodami mikroskopii bliskich oddziaływań. Omówiono podstawowe tryby pomiarowe tej metody badawczej, jej możliwości pomiarowe i zasadnicze ograniczenia. Zaprezentowano również rodzinę modularnych mikroskopów bliskich oddziaływań skonstruowanych w Politechnice Wrocławskiej oraz wyniki badań topografii powierzchni, rozkładu napięć elektrycznych i temperatury występujących na powierzchni mikroelektronicznych ukladów mikrometrowych i mikrosystemów.
EN In this article we describe the application of Scanning Probe Microscopy (SPM) in high resolution diagnostics of microelectronical devices and materials. In this experimental method the interactions between microtip with the tip radius of 10 nm located above the investigated structure surface are monitored. Based on this measurements various mechanical, thermal and electrical surface properties can be resolved within several nanometers. We will present results of thermal and electrical surface characterization using Scanning Thermal Microscopy (SThM) and Electrostatic Force Microscopy (EFM). We will also describe the sensor technology, which was developed in our group and which enables us to observe the surface thermal conductivity, electrical potentials and dopant profiles in micro- and nanostructures.
Słowa kluczowe
PL mikrosystemy   nanotechnologia   mikroskopia bliskich oddziaływań  
EN scanning probe microscopy   atomic force microscopy (AFM)  
Wydawca Wydawnictwo SIGMA-NOT
Czasopismo Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
Rocznik 2004
Tom Vol. 45, nr 12
Strony 29--33
Opis fizyczny Bibliogr. 10 poz.
Twórcy
autor Gotszalk, T.
autor Radojewski, J.
autor Szeloch, R.
autor Marendziak, A.
autor Sikora, A.
autor Hasek, T.
autor Kolanek, K.
autor Grabiec, P.
autor Rangelow, I.
  • Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki
Bibliografia
Kolekcja BazTech
Identyfikator YADDA bwmeta1.element.baztech-article-BWA2-0009-0046
Identyfikatory