Narzędzia help

Preferencje help
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników
last
cannonical link button

http://yadda.icm.edu.pl:80/baztech/element/bwmeta1.element.baztech-article-BWA0-0006-0006

Czasopismo

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

Tytuł artykułu

Wytwarzanie przyrządów elektroniki kwantowej metodami mikroskopii bliskich oddziaływań

Autorzy Kolanek, K.  Gotszalk, T.  Woszczyna, M.  Masalska, A.  Zawierucha, P.  Mulak, P.  Szeloch, R.  Zielony, M.  Janus, P.  Grabiec, P. 
Treść / Zawartość
Warianty tytułu
EN Fabrication of nanostructures using Scanning Probe Microscopy
Konferencja Metrologia Kwantowa ; 09-10.05.2006 ; Poznań, Polska
Języki publikacji PL
Abstrakty
PL Ciągły rozwój technologii półprzewodnikowej powoduje wzrost skali integracji, szybkości działania układów elektronicznych oraz zmniejszenie pobieranej przez nie mocy. Obecny stan technologii opiera się głównie na technice fotolitografii i osiąga kres swoich możliwości zmniejszania charakterystycznych wymiarów przyrządów półprzewodnikowych. Przewiduje się, że fotolitografia nie zapewni tworzenia przyrządów półprzewodnikowych o rozmiarach charakterystycznych mniejszych od 30 nm. Zastosowanie mikroskopii sił atomowych do lokalnej anodyzacji powierzchni otwiera nowe perspektywy wykonywania wzorów o wymiarach mniejszych od 30 nm. Zaletą tej techniki jest możliwość zarówno wytwarzania, jak i jednoczesnej diagnostyki wygenerowanych wzorów. Przedstawiono wyniki eksperymentów prowadzonych w laboratorium mikroskopii bliskich oddziaływań, nanostruktur i nanomiernictwa WEMiF z Politechniki Wrocławskiej.
EN Rapid progress in semiconductor technology leads to greater scale of integration, improved speed and a reduced amount of the needed power of the electronic devices. At the present time mainly photolithography tools are used for developing electronic devices. Now the tools are working on the edge of the performance. Scanning probe microscopy is one of the methods which may be applied not only to surface visualization but also to modification. In this paper we describe local anodization process, which may be applied to create patterns on semiconductor and metallic surfaces. Control software of the atomic force microscope transfers designed patterns on the surface. We will present our research conducted in Laboratory of scanning probe microscopy, nanostructures and nanometrology in the Faculty of Microsystems Electronics and Photonics at Wroclaw University of Technology.
Słowa kluczowe
PL mikroskopia sił atomowych   lokalna anodyzacja powierzchni   nanolitografia   elektronika kwantowa   kwantowy kontakt punktowy  
EN atomic force microscopy (AFM)   local anodic oxidation   nanolithography   quantum electronics   quantum point contact  
Wydawca Wydawnictwo SIGMA-NOT
Czasopismo Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
Rocznik 2006
Tom Vol. 47, nr 5
Strony 27--29
Opis fizyczny Bibliogr. 5 poz., il.
Twórcy
autor Kolanek, K.
autor Gotszalk, T.
autor Woszczyna, M.
autor Masalska, A.
autor Zawierucha, P.
autor Mulak, P.
autor Szeloch, R.
autor Zielony, M.
autor Janus, P.
autor Grabiec, P.
  • Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki, Wrocław
Bibliografia
[1] Likharev K.: Single-Electron Devices and Their Applications. Proc. IEEE, vol. 87, pp. 606-632, April 1999.
[2] Held R., Heinzel T.: Nanolithography by local anodic oxidation of metal films using an atomic force microscope. Physica E, 748-752, 1998.
[3] Held R.: Semiconductor quantum point contact fabricated by lithography with an atomic force microscope. Applied physics letters, 71 (18), 2689-2991, 3 November 1997.
[4] Bouchiat V.: Resistless patterning of quantum nanostructures by local anodization with an atomic force microscope. Microelectronic Engineering, 517-522, 2002.
[5] Kolanek K., Sikora A., Gotszalk T., Szeloch R.: Sterowanie procesem nanolitografii w modularnej mikroskopii bliskich oddziaływań. Krajowa Konferencja Elektroniki 2005, ss. 525-529.
Kolekcja BazTech
Identyfikator YADDA bwmeta1.element.baztech-article-BWA0-0006-0006
Identyfikatory