Narzędzia help

Preferencje help
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników
first last
cannonical link button

http://yadda.icm.edu.pl:80/baztech/element/bwmeta1.element.baztech-article-BWA0-0004-0021

Czasopismo

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

Tytuł artykułu

Metody mikroskopii bliskiego pola od mikro- do nanoelektroniki: diagnostyka, wytwarzanie

Autorzy Gotszalk, T.  Sikora, A.  Kolanek, K.  Szeloch, R.  Szmidt, J.  Grabiec, P.  Rangelow, I. W.  Mitura, S. 
Treść / Zawartość
Warianty tytułu
EN Scanning probe microscopy methods in micro- and nanoelectronics: diagnostics and fabrication
Konferencja .Krajowa Konferencja Elektroniki (4 ; 12-15.06.2005 ; Darłówko Wschodnie, Polska)
Języki publikacji PL
Abstrakty
PL Obserwowane obecnie tendencje w rozwoju systemów elektronicznych i tzw. mikrosystemów, które łączą w sobie zarówno funkcje przetwarzania sygnałów elektronicznych, jak i oddziaływań mechanicznych, chemicznych, itp. wyrażają się w znacznym zmniejszeniu tzw. wymiaru charakterystycznego do setek i dziesiątek nanometrów. W opracowaniu przedstawiono przegląd metod bliskiego pola zarówno w zastosowaniach diagnostycznych jak i technologicznych, które pozwalają zaspokoić skrajnie trudne warunki powstałe na drodze do nanoelektroniki, a ogólnie do nanotechnologii. Badania i wytwarzanie tego typu układów wymagają nowatorskiego podejścia, które musi uwzględniać prawa fizyki kwantowej.
EN In last decades rapid progress in fabrication of integrated circuits and microsystems has been observed. Simultaneously novel problems connectec with measurements of such devices and microelectronical materials were defined. In our work we will describe the application of scanning probe microscopy based methods in measurements of physical properties of microelectronical devices and materials. We will present methdos and techniques, which were developed at the Faculty of Microsystem Electronic; and Photonics of Wroclaw University of Technology. In this experiments we used novel nearfield sensors and measurement electronics to describe quantitavely the surface properties. We will present preliminary results on fabrication of nanostructures, which can be applied as quantum electronical devices like: quantum points and single electron transistors.
Słowa kluczowe
PL mikroskopia sił atomowych   lokalna anodyzacja powierzchni   nanolitografia   tranzystor jednoelektronowy  
EN atomic force microscopy (AFM)   local anodization   nanolithography   single electron transistor  
Wydawca Wydawnictwo SIGMA-NOT
Czasopismo Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
Rocznik 2005
Tom Vol. 46, nr 11
Strony 14--18
Opis fizyczny Bibliogr. 14 poz., il., wykr.
Twórcy
autor Gotszalk, T.
  • Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki
autor Sikora, A.
  • Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki
autor Kolanek, K.
  • Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki
autor Szeloch, R.
  • Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki
autor Szmidt, J.
  • Politechnika Warszawska, Instytut Mikro- i Optoelektroniki
autor Grabiec, P.
  • Instytut Technologii Elektronowej, Warszawa
autor Rangelow, I. W.
  • Faculty of Physics, Institute of Technological Physics, Kassel, Niemcy
autor Mitura, S.
  • Politechnika Łódzka, Wydział Mechaniczny
Bibliografia
[1] Semiconductor Industry Association (SIA), National Technology Roadmap, 1994.
[2] Semiconductor Industry Association (SIA), International Technology Roadmap for Semiconductors, 2004 Update. Internet: http://public.itrs.net
[3] S. Bandyopadhyay, A. Balandin: Nanoelectronic implementations of reversible and quantum logic. Superlattices and Microstructures, Vol. 23, No. 3/4, 1998 pp. 445-464.
[4] Y. Makhlin, G. Schón, A. Shnirman: Nanoscale superconducting quantum bits Physica C 350 (2001) pp. 161-165.
[5] P. Lali, M. Pecht, E. B. Hakim: Characterization of functional relationship between temperature and microelectronics reliability. Microelectronics Reliability, Vol. 35, 1995, pp. 377-402.
[6] D. G. Cahill, W. K. Ford, К. E. Goodson, G.D. Mahan, A. Majumdar, H. J. Maris, R. Merlin, S. R. Phillpot: Nanoscale thermal transport. J. Appl. Phys., Vol. 93, No. 2, 15 January 2003, pp. 793-818.
[7] T. P. Gotszalk: Systemy mikroskopii bliskich oddziaływań w badaniach mikro- i nanostruktur. Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej, Wrocław 2004.
[8] К. P. Chong: Nanoscience and engineering in mechanics and material. Journal of Physics and Chemistry of Solids 65 (2004) pp. 1501-1506.
[9] K. Likharev: Single-Electron Devices and Their Applications. Proc. IEEE, vol. 87, April 1999, pp. 606-632.
[10] S. Altmeyer: Potential and challenges of single electron devices. Vacuum, Vol. 52, No. 2, 1998, pp. 295-299.
[11] W. Nawrocki, M. Wawrzyniak: Zjawiska kwantowe w metrologii elektrycznej. Wydawnictwo Politechniki Poznańskiej, Poznań 2003.
[12] H. Ahmed, К. Nakazało: Single-electron devices. Microelectronic Engineering, Vol. 32 (1996), pp. 297-315.
[13] A.T. Tickle, F. C. Simmel: Coulomb blockade in silicon nanostructures. Progress in Quantum Electronics, 25, 2001, pp. 97-138.
[14] A. Sikora: Nanomodyfikacja powierzchni za pomocą modularnego mikroskopu tunelowego i sił atomowych. Rozprawa doktorska, Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki, Wrocław 2004.
Kolekcja BazTech
Identyfikator YADDA bwmeta1.element.baztech-article-BWA0-0004-0021
Identyfikatory