Wpływ parametrów plazmy MW/RF na właściwości warstw węglowych

• Autorzy: Kaczorowski W. , Niedzielski P. , Klimek L. , Kozanecki M. , Mitura S.

Warianty tytułu

EN

Influence of MW/RF plasma parameters on the properties of carbon coatings

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Zaprezentowano analizę wpływu podstawowego parametru procesu wytwarzania warstw węglowych na ich właściwości. Badania przeprowadzono na powłokach uzyskanych z metanowo-argonowej mieszaniny gazów, przy zmiennych wartościach ujemnego potencjału autopolaryzacji, który determinuje właściwości plazmy MW/RF. Uzyskane wyniki z SEM i mikroanalizatora rentgenowskiego świadczą o tym, że wraz ze wzrostem ujemnego potencjału autopolaryzacji wzrasta szybkość trawienia warstw, a jednocześnie widma Ramana sugerują, że najszybciej trawioną fazą powłoki węglowej jest faza grafitowa.

EN

In this paper, the influence of the basic process parameters on the properties of the carbon coatings were analyzed. Carbon films were deposited by changing the negative bias voltage from mixtures of gases methane/argon - CH4/Ar. The correlation between the negative bias voltage, films structure and Raman spectra was studied. The investigations of deposition was shown, that it was possible created the carbon coating with Id/Ig about 1,94.

Słowa kluczowe

PL

warstwy węglowe; plazma MW/RF; parametry plazmy MW/RF

EN

carbon coatings; MW/RF plasma; MW/RF plasma parameters

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2005
• Tom: Vol. 46, nr 6
• Strony: 23--24
• Opis fizyczny: Bibliogr. 5 poz., il., wykr.

Twórcy

autor

Kaczorowski W.

• Politechnika Łódzka, Instytut Inżynierii Materiałowej

autor

Niedzielski P.

• Politechnika Łódzka, Instytut Inżynierii Materiałowej

autor

Klimek L.

• Politechnika Łódzka, Instytut Inżynierii Materiałowej

autor

Kozanecki M.

• Politechnika Łódzka, Katedra Fizyki Molekularnej

autor

Mitura S.

• Politechnika Łódzka, Instytut Inżynierii Materiałowej

Bibliografia

• 1. Klemberg-Sapieha J., Martinu L., Wertheimer M. R., Gunther P., Schellin R., Thielemann C., Sessler G. M.: Plasma deposition of low-stress electret films for electroacoustic and solar cell applications. Journal of Vacuum Science and Technology A 14 (5) 1996, 2775-2779.
• 2. Wertheimer M. R., Thomas H. R., Perri M. J., Klemberg-Sapieha J., Martinu L.: Plasmas and polymers: From laboratory to large scale commercialisation. Pure and Appl. Chem. 68 (5) 1996, 1047-1053.
• 3. Braca E., Kenny J. M., Korzec D., Engemann J.: Transition form polymer-like to diamon-like carbon coatings synthesized by hybridradio frequency-microwave plasma source. Thin Solid Films 394 (2001) 30-39.
• 4. Raveh A., Klemberg-Sapieha J. E., Martinu L., Wertheimer M. R.: Deposition and properties of diamondlike carbon films produced in microwave and radio-frequency plasma. Journal of Vacuum Science and Technology A 10 (4) 1992, 1723-1727.
• 5. Kaczorowski W., Niedzielski P., Mitura S.: Wytwarzanie warstw węglowych w nowym reaktorze MW/RF, Inżynieria Biomateriałów, w druku.