PL EN


Preferencje help
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników
Tytuł artykułu

Wzrost warstw w obecności wiązki jonów (IBAD) : symulacje komputerowe metodą Monte Carlo

Identyfikatory
Warianty tytułu
EN
Computer Monte Carlo simulation of the growth of layers in the presence of ion beam (IBAD)
Języki publikacji
PL
Abstrakty
PL
Przedstawiono kontynuację badań symulacyjnych metodą Monte Carlo wzrostu warstw (w skali atomowej) wspomaganego niskoenergetycznym bombardowaniem jonowym (IBAD). W określonych warunkach procesu osadzania badano, w jakim stopniu oddziaływania adatom-adatom, jon-adatom, uwzględnione w modelu, wpływają na strukturę warstw i morfologię ich powierzchni. Stwierdzono, że oddziaływania te mogą znacząco zmieniać strukturę kolumnową warstw zwłaszcza w zakresie małych energii jonów bombardujących warstwę. Zmienia się wówczas również gęstość i chropowatość warstw.
EN
Monte Carlo simulations of the IBAD process of layer growths in the atomic scale are presented. The investigations focused on the influence of both the adatom-adatom and ion-adatom interactions on the structure and the morphology of the layers. It was found that these interactions can determine the presence (or absence) of the columnar structure of the layers particularly for the low ion bombardment energy regime. Also the density and the roughness of the layers is sensible to the magnitude of these interactions.
Rocznik
Strony
11--13
Opis fizyczny
Bibliogr. 15 poz., wykr.
Twórcy
  • Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki
  • Uniwersytet Warszawski, Wydział Chemii
Bibliografia
  • 1. Xia M., Liu X., Gu P.: Applied Optics; 32; 28; 1993; 5443-5446.
  • 2. Glimer G. H., Huang H., Roland Ch.: Computational Materials Science; 12; 1998; 354-380.
  • 3. Lugscheider E., von Hayn G.: Surface and Coatings Technology; 142-144; 2001; 923-927.
  • 4. Torre J. D., Gilmer G. H., Windt D. L., Kalyanaraman R., Baumann F. H., O’Sullivan P. L., Sapjeta J., de la Rubia T. D., Rouhani M. Djafari: Journal of Applied Physics; 94; 1; 2003; 263-271.
  • 5. Šikola T., Spousta J., Dittrichová L „ Beneš L., Peřina V., Rafaja D.: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B: 127/128; 1997; 673-676.
  • 6. Guglya A. G., Marchenko I. G., Malykhin D. G., Neklyudov I. M.: Surface and Coatings Technology; 163-164; 2003; 286-292.
  • 7. Zdanowski J., Oleszkiewicz W.: Proc 12th International Special Summer School Kołobrzeg 2000; „Modern Plasma Surface Technology”; Materiały Konferencyjne Wydziału Mechanicznego Politechniki Koszalińskiej; Koszalin; 2000; 75-136.
  • 8. M. Rusanen, I. Koponen, J. Heinonen, L. Sillanp: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B: 148; 1999; 116-120.
  • 9. Koponen I. T.: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B: 171; 2000; 314-324.
  • 10. Zhang Q. Y., Ma T. C., Pan Z. Y., Tang J. Y.; Surface and Coatings Technology; 128-129; 2000; 175-180.
  • 11. Oleszkiewicz W., Romiszowski P.: Vacuum; 63; 4; 2001; 613-617.
  • 12. Oleszkiewicz W., Romiszowski P.: Elektronika; XLII; 7; 2001; 25-27.
  • 13. Oleszkiewicz W., Romiszowski P.: Optica Applicata; XXXII; 3; 2002; 259-265.
  • 14. Oleszkiewicz W., Romiszowski P.: Vacuum; 70; 2003; 347-352.
  • 15. Marendziak A., Oleszkiewicz E., Oleszkiewicz W., Romiszowski P., Żukowska K.: Elektronika; XLIV; 7; 2003; 21-23.
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-article-BWA0-0004-0002
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.