Narzędzia help

Preferencje help
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników
first last
cannonical link button

http://yadda.icm.edu.pl:80/baztech/element/bwmeta1.element.baztech-article-BWA0-0004-0001

Czasopismo

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

Tytuł artykułu

Nanomiernictwo mikro- i nanostruktur metodami mikroskopii bliskich oddziaływań

Autorzy Gotszalk, T.  Radojewski, J.  Szeloch, R.  Marendziak, A.  Kolanek, K.  Woszczyna, M.  Masalska, A.  Grabiec, P.  Janus, P.  Rangelow, I. 
Treść / Zawartość
Warianty tytułu
EN Nanometrology of micro- and nanostructures using Scanning Probe Microscopy
Języki publikacji PL
Abstrakty
PL Przedstawiono zastosowanie mikroskopii bliskich oddziaływań (ang. Scanning Probe Microscopy - SPM) w miernictwie właściwości mikro- i nanostruktur. Omówiono uwarunkowania eksperymentalne i podstawowe metody, których celem jest przeprowadzenie ilościowej analizy parametrów badanych układów. Zaprezentowano również wyniki badań prowadzonych w trybie kalibrowanej mikroskopii sił atomowych (ang. Calibrated Atomie Force Microscopy- CD AFM), mikroskopii bliskiego pola optycznego (ang. Scanning Nearfield Optical Microscopy- SNOM) oraz mikroskopii sił atomowych z piezoelektrycznym rezonatorem kwarcowym, pełniącym rolę czujnika siły skupionej na mikroostrzu.
EN In this article we describe application of Scanning Probe Microscopy in measurements of micro- and nanostructures. We will describe the experimental setup and principles of methods and techniques, which are devoted to quantitative investigations of nanostructures. In our work we will present the results of measurements using Calibrated Atomic Force Microscopy, Scanning Nearfield Optical Microscopy and Scanning Probe Microscopy with piezoelectrical quartz resonator as a detector of forces acting at the microtip.
Słowa kluczowe
PL mikroskopia bliskich oddziaływań   mikroskopia sił atomowych   nanomiernictwo  
EN scanning probe microscopy   atomic force microscopy (AFM)   nanometrology  
Wydawca Wydawnictwo SIGMA-NOT
Czasopismo Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
Rocznik 2005
Tom Vol. 46, nr 6
Strony 6--10
Opis fizyczny Bibliogr. 11 poz., il.
Twórcy
autor Gotszalk, T.
  • Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki
autor Radojewski, J.
  • Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki
autor Szeloch, R.
  • Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki
autor Marendziak, A.
  • Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki
autor Kolanek, K.
  • Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki
autor Woszczyna, M.
  • Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki
autor Masalska, A.
  • Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki
autor Grabiec, P.
  • Instytut Technologii Elektronowej, Warszawa
autor Janus, P.
  • Instytut Technologii Elektronowej, Warszawa
autor Rangelow, I.
  • Institute of Technical Physics, Germany
Bibliografia
1. Binnig G., Rohrer H., Weibel E.: Phys. Rev. Lett., 49, 1982.
2. Binnig G., Gerber C., Quate C.: Phys. Rev. Lett., 56, 9, 930, 1986.
3. Gotszalk T.: Systemy mikroskopii bliskich oddziaływań w badaniach mikro- i nanostruktur. Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej, 2004.
4. Grabiec P., Zaborowski M., Domański K., Gotszalk T., Rangelow I. W.: Microelectronic Engineering, 73-74, 699, 2004.
5. Pluta M.: Mikroskopia optyczna, PWN, Warszawa 1982.
6. Hecht B., Sick B., Wild U. P., Deckert V., Zenobi R., Martin O. J. F., Pohl D. W.: Journal of Chemical Physics, Vol. 112, 2000, pp. 7761-7774.
7. Grabiec P., Gotszalk T., Radojewski J., Edinger K., Abedinov N., Rangelow I. W.: Microelectronic Eng., Vol. 61/62, 2002, pp. 981-986.
8. Gotszalk T., Grabiec P., Rangelow I. W.: Ultramicroscopy, Vol. 82, 2000, p. 39.
9. Radojewski J., Grabiec P.: Materials Science, Vol. 21, 2003, pp. 319-332.
10. Woszczyna M.: Mikroskop sił atomowych z piezoelektrycznym rezonatorem kwarcowym jako czujnikiem sił między ostrzem a powierzchnią. Praca dyplomowa, Politechnika Wrocławska, 2005.
11. Marendziak A.: Pomiary wymiarów geometrycznych za pomocą mikroskopu sił atomowych. Rozprawa doktorska, Politechnika Wrocławska, 2005.
Kolekcja BazTech
Identyfikator YADDA bwmeta1.element.baztech-article-BWA0-0004-0001
Identyfikatory