Tytuł artykułu
Identyfikatory
Warianty tytułu
Nanometrology of micro- and nanostructures using Scanning Probe Microscopy
Języki publikacji
Abstrakty
Przedstawiono zastosowanie mikroskopii bliskich oddziaływań (ang. Scanning Probe Microscopy - SPM) w miernictwie właściwości mikro- i nanostruktur. Omówiono uwarunkowania eksperymentalne i podstawowe metody, których celem jest przeprowadzenie ilościowej analizy parametrów badanych układów. Zaprezentowano również wyniki badań prowadzonych w trybie kalibrowanej mikroskopii sił atomowych (ang. Calibrated Atomie Force Microscopy- CD AFM), mikroskopii bliskiego pola optycznego (ang. Scanning Nearfield Optical Microscopy- SNOM) oraz mikroskopii sił atomowych z piezoelektrycznym rezonatorem kwarcowym, pełniącym rolę czujnika siły skupionej na mikroostrzu.
In this article we describe application of Scanning Probe Microscopy in measurements of micro- and nanostructures. We will describe the experimental setup and principles of methods and techniques, which are devoted to quantitative investigations of nanostructures. In our work we will present the results of measurements using Calibrated Atomic Force Microscopy, Scanning Nearfield Optical Microscopy and Scanning Probe Microscopy with piezoelectrical quartz resonator as a detector of forces acting at the microtip.
Wydawca
Rocznik
Tom
Strony
6--10
Opis fizyczny
Bibliogr. 11 poz., il.
Twórcy
autor
- Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki
autor
- Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki
autor
- Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki
autor
- Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki
autor
- Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki
autor
- Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki
autor
- Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki
autor
- Instytut Technologii Elektronowej, Warszawa
autor
- Instytut Technologii Elektronowej, Warszawa
autor
- Institute of Technical Physics, Germany
Bibliografia
- 1. Binnig G., Rohrer H., Weibel E.: Phys. Rev. Lett., 49, 1982.
- 2. Binnig G., Gerber C., Quate C.: Phys. Rev. Lett., 56, 9, 930, 1986.
- 3. Gotszalk T.: Systemy mikroskopii bliskich oddziaływań w badaniach mikro- i nanostruktur. Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej, 2004.
- 4. Grabiec P., Zaborowski M., Domański K., Gotszalk T., Rangelow I. W.: Microelectronic Engineering, 73-74, 699, 2004.
- 5. Pluta M.: Mikroskopia optyczna, PWN, Warszawa 1982.
- 6. Hecht B., Sick B., Wild U. P., Deckert V., Zenobi R., Martin O. J. F., Pohl D. W.: Journal of Chemical Physics, Vol. 112, 2000, pp. 7761-7774.
- 7. Grabiec P., Gotszalk T., Radojewski J., Edinger K., Abedinov N., Rangelow I. W.: Microelectronic Eng., Vol. 61/62, 2002, pp. 981-986.
- 8. Gotszalk T., Grabiec P., Rangelow I. W.: Ultramicroscopy, Vol. 82, 2000, p. 39.
- 9. Radojewski J., Grabiec P.: Materials Science, Vol. 21, 2003, pp. 319-332.
- 10. Woszczyna M.: Mikroskop sił atomowych z piezoelektrycznym rezonatorem kwarcowym jako czujnikiem sił między ostrzem a powierzchnią. Praca dyplomowa, Politechnika Wrocławska, 2005.
- 11. Marendziak A.: Pomiary wymiarów geometrycznych za pomocą mikroskopu sił atomowych. Rozprawa doktorska, Politechnika Wrocławska, 2005.
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-article-BWA0-0004-0001