Narzędzia help

Preferencje help
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników
first last
cannonical link button

http://yadda.icm.edu.pl:80/baztech/element/bwmeta1.element.baztech-article-BPW7-0002-0019

Czasopismo

Materials Science Poland

Tytuł artykułu

HBV deep mesa etching in InGaAs/InAlAs/AlAs heterostructures on InP substrate

Autorzy Górska, M.  Wrzesińska, H.  Szerling, A.  Hejduk, K.  Ratajczak, J.  Łysko, J.M. 
Treść / Zawartość http://www.materialsscience.pwr.wroc.pl/
Warianty tytułu
Konferencja Sol-Gel Materials Research, Technology, Applications SGM'04, 6-11 june 2004
Języki publikacji EN
Abstrakty
EN The chemical composition of newly developed anisotropic etching solution and several experimental results obtained with heterostructure barrier varactor (HBV) deep mesa formation are presented. The novel solution enables the deep etching of the InGaAs/InAlAs/AlAs heterostructure over InP substrate, up to 5 žm in the [100] crystal direction. It ensures etch-stop at the InP substrate and gives almost perfect surface quality, with mesa profiles meeting device design requirements. The etching solution is a mixture of two components: A (H2SO4:H2O2:H2O = 1:1:8) and B (C6H8O7:H2O = 1:1), in the proportion B:(H2O2 content in A) =1:1.
Słowa kluczowe
EN heterostructure   anisotropic   wet etching   mesa  
Wydawca Springer
Czasopismo Materials Science Poland
Rocznik 2005
Tom Vol. 23, No. 1
Strony 221--226
Opis fizyczny Bibliogr. 4 poz.
Twórcy
autor Górska, M.
  • Institute of Electron Technology, al. Lotników 32/46, 02-668 Warsaw, Poland
autor Wrzesińska, H.
autor Szerling, A.
autor Hejduk, K.
autor Ratajczak, J.
autor Łysko, J.M.
Bibliografia
[1] KOLLBERG E.L., RYDBERG A., Electronics Lett., 25 (1989), 1696.
[2] STANO A., J. Electrochem. Soc., 134 (1987), 448.
[3] HOWES M.J.,MORGAN D.V., Gallium Arsenide. Materials, Devices and Circuits, Wiley, Chichester, 1985.
[4] GÓRSKA M.,WRZESIŃSKA H., ŁYSKO J.M., patent pending No. P-360860, Poland.
Kolekcja BazTech
Identyfikator YADDA bwmeta1.element.baztech-article-BPW7-0002-0019
Identyfikatory