Narzędzia help

Preferencje help
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników
first previous next last
cannonical link button

http://yadda.icm.edu.pl:80/baztech/element/bwmeta1.element.baztech-article-BPOH-0051-0001

Czasopismo

Przegląd Elektrotechniczny

Tytuł artykułu

Komputerowy system identyfikacji i regulacji temperatury pieca do dyfuzji półprzewodników

Autorzy Frączyk, A.  Rzepka, A. 
Treść / Zawartość http://pe.org.pl/
Warianty tytułu
EN Computer system for identification and temperature control of furnace for semiconductors diffusion
Języki publikacji PL
Abstrakty
PL Niniejszy artykuł przedstawia opis stanowiska badawczego wykorzystywanego do identyfikacji parametrów dynamicznych oraz do precyzyjnej regulacji temperatury wielosekcyjnego pieca oporowego do dyfuzji półprzewodników. Umożliwia ono identyfikację parametrów dynamicznych obiektu badań drogą testów wieloczęstotliwościowych wykorzystujących sygnały MBS oraz regulację temperatury za pomocą różnych wersji algorytmów typu PID oraz regulatora optymalnego w sensie minimalizacji kwadratowego wskaźnika jakości regulacji.
EN This paper describes a research stand used for identification and precise temperature control of multi-section resistance diffusion furnace. Dedicated software enables the MBS identification of dynamic parameters of the furnace and its temperature control by different control strategies.
Słowa kluczowe
PL identyfikacja   regulacja temperatury   pomiary temperatury   procesy dyfuzji  
EN identification   temperature control   temperature measurement   diffusion processes  
Wydawca Wydawnictwo SIGMA-NOT
Czasopismo Przegląd Elektrotechniczny
Rocznik 2008
Tom R. 84, nr 7
Strony 70--72
Opis fizyczny Bibliogr. 4 poz., schem., wykr.
Twórcy
autor Frączyk, A.
autor Rzepka, A.
Bibliografia
[1] Kałużniacki T., Obwody wejściowe cyfrowego, wielopętlowego regulatora temperatury CRT88, Prace Przemysłowego Instytutu Elektroniki, (1991), nr.114, 37-49
[2] Sankowski D., Wykorzystanie wieloczęstotliwościowych sygnałów binarnych (MBS) do identyfikacji „on-line” rezystancyjnych urządzeń grzejnych, Zeszyty Naukowe Politechniki Łódzkiej, (1989), nr.569
[3] Orzyłowski M., Nowoczesne regulatory temperatury, Elektronizacja, (1992), nr.12, 8-11
[4] Michalski L., Sadowski J., Kuźmiński K., Regulacja temperatury urządzeń elektrotermicznych, (1981), WNT Warszawa
Kolekcja BazTech
Identyfikator YADDA bwmeta1.element.baztech-article-BPOH-0051-0001
Identyfikatory