Narzędzia help

Preferencje help
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników
first previous next last
cannonical link button

http://yadda.icm.edu.pl:80/baztech/element/bwmeta1.element.baztech-article-BPOC-0024-0011

Czasopismo

Przegląd Elektrotechniczny

Tytuł artykułu

Study on a diode-bridge type capacitance detection circuit for differential capacitive sensor

Autorzy Matsuo, T.  Pawłat, J.  Liang, J.  Ueda, T. 
Treść / Zawartość http://pe.org.pl/
Warianty tytułu
PL Obwód elektryczny miernika nachylenia kąta wykorzystujący mostek diodowy do pomiaru pojemności
Języki publikacji EN
Abstrakty
EN Diode-bridge type capacitance detection circuit was developed in order to detect very small variation of differential capacitances in higher resolution. The circuit was designed for a comb structure tilt sensor, which was made of quartz crystal and had several movable electrodes between fixed electrodes. The circuit’s output was almost proportional to the displacement of the movable electrode. Presently, the resolution of 0.0015 degree was obtained using the combination of the sensor and the detection circuit. It corresponded to the resolution of about less than 4.5aF.
PL W celu pomiaru bardzo malej różnicy pojemności z dużą dokładnością skonstruowano obwód elektryczny wykorzystujący mostek diodowy. Obwód został zaprojektowany dla miernika nachylenia kąta wykonanego z kryształu kwarcowego. Czujnik o strukturze grzebieniowej posiadał kilka ruchomych elektrod znajdujących się między elementami nieruchomymi. Sygnał wyjściowy obwodu był praktycznie proporcjonalny w stosunku do przesunięcia elektrod ruchomych. Obecnie osiągnięto dokładność miernika rzędu 0.0015 stopnia co odpowiada dokładności pomiaru pojemności rzędu 4.5 aF.
Słowa kluczowe
PL miernik nachylenia kąta   nieskończenie mała różnica pojemności   mostek diodowy  
EN tilt sensor   infinitesimal variation of capacitance  
Wydawca Wydawnictwo SIGMA-NOT
Czasopismo Przegląd Elektrotechniczny
Rocznik 2007
Tom R. 83, nr 6
Strony 60--62
Opis fizyczny Bibliogr. 6 poz., rys., wykr.
Twórcy
autor Matsuo, T.
autor Pawłat, J.
autor Liang, J.
autor Ueda, T.
  • Graduate School of IPS
Bibliografia
[1] Kohsaka F., Liang J., Ueda T., Mechanical Strength of Quartz Micromechanical Devices, Proc. 21st Sensor Simposium, (2004), 225-228
[2] Kohsaka F., Liang J., Ueda T., High Sensitive Tilt Sensor for Quartz Micromachining, Proc. 22nd Sensor Simposium, (2004), 371-374
[3] Ueda T., Kohsaka F., Yamazaki D., Hayashi H., High Sensitive Crystal Microphone using Micro-Machining Technology, Trans. IEE of Japan, 121-E (2001), nr 12, 629-635
[4] Matsuo T., Kunitomo K., Ueda T., Performance Analysis of a Diode-bridge Type Differential Capacitance Detection Circuit and Its Evaluation, Proc. 22nd Sensor Simposium, (2004), 233-236
[5] Liang J., Kohsaka F., Matsuo T., Ueda T., A Novel Lift off Process and its Application for Capacitive Tilt Sensor, Proc.5th IEEE Sensors, (2006), 394
[6] Matsuo T., Pawłat J., Liang J., Kunitomo K., Ueda T., A Study on a Diode-Bridge Type Differential Capacitance Detection Circuit, Journal of AOTs, 9 (2006), nr2, 156-159
Kolekcja BazTech
Identyfikator YADDA bwmeta1.element.baztech-article-BPOC-0024-0011
Identyfikatory