PL EN


Preferencje help
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników
Tytuł artykułu

Powłoki Ti-C:H wytwarzane metodą impulsowego reaktywnego rozpylania magnetronowego

Autorzy
Wybrane pełne teksty z tego czasopisma
Identyfikatory
Warianty tytułu
EN
Ti-C:H coatings deposited by pulsed reactive magnetron sputtering
Konferencja
II Ogólnopolska Konferencja Naukowa "Nowe technologie w inżynierii powierzchni", Łódź-Spała, 12-14 października 2000.
Języki publikacji
PL
Abstrakty
PL
W pracy przedstawiono wyniki badań nad wytwarzaniem i właściwościami powłok typu Ti-C:H, które charakteryzują się dobrymi właściwościami tribologicznymi w szczególności niskim współczynnikiem tarcia w warunkach tarcia suchego. Do wytwarzania powłok zastosowano metodę reaktywnego rozpylania magnetronowego, przy czym do zasilania źródła magnetronowego oraz do polaryzacji podłoży, zastosowano unipolarne zasilacze impulsowe. Zastosowanie techniki impulsowej pozwoliło ograniczyć niekorzystne efekty mikrowyładowań łukowych, które występują podczas rozpylania dużym udziałem gazu reaktywnego w atmosferze roboczej, oraz gdy produktem reakcji są substancje o niskim przewodnictwie elektrycznym. Powłoki wytwarzano w atmosferze argonu i acetylenu o różnym składzie, a do kontroli procesów wytwarzania powłok wykorzystano optyczną spektroskopię emisyjną. Przedstawiono wyniki badań wpływu składu atmosfery roboczej oraz temperatury podłoża na właściwości powłok. Stwierdzono, że ze wzrostem zawartości acetylenu w atmosferze roboczej zmniejsza się zawartość tytanu w powłoce, maleje mikrowartość powłok i jednocześnie zmniejsza się współczynnik tarcia suchego. Właściwości wytworzonych powłok Ti-C:H wskazują na możliwości ich wykorzystania do pokrywania części maszyn, szczególnie tam gdzie użycie środków smarujących jest niemożliwe lub ograniczone np. w technice i technologii próżniowej albo niepożądane jak np. w maszynach przemysłu spożywczego, farmaceutycznego oraz w technice medycznej. Z uwagi na niski współczynnik tarcia względem aluminium, powłoki Ti-C:H mogą również znaleźć zastosowanie np. do pokrywania narzędzi do wykrywania i głębokiego tłoczenia aluminium i jego stopów.
EN
Results of investigations of the deposition process and the properties of Ti-C:H coatings with good tribological properties, especially with low friction coefficient under conditions of dry friction, are presented in this work. The coatings were produced by the reactive magnetron sputtering method where the unipolar pulsed power supply was used for the magnetron source and the substrate bias. Owing to the pulsed technique it was possible to limit an adverse effect of micro-arc discharges, which occur while sputtering at high concentrations of reactive gas in the working atmosphere and when the reaction product comprises the low conductivity substances. The coatings were deposited under argon and acetylene at different concentrations and the process was controlled using the optical atmospheres emission spectroscopy. Results of experiments on the influence of the working atmosphere composition and the substrate temperatures on the properties of coatings are presented. Observations revealed that at higher concentrations of acetylene in the working atmosphere, the content of titanium in the coatings was decreased. At the same time the microhardness and friction coefficient of the coatings were also decreased. Due to those properties of Ti-C:H coatings it is possible to use them for coating the machine elements, especially where oil lubrication should be avided or limited in use, e.g. in vacuum engineering; or undesirable, e.g. for machinery in food processing, pharmacy and medical engineering. Owing to the low friction coefficient Ti-C:H coatings with respect to aluminium, they can be applied as coatings on tools for punching and pressing of aluminium and its alloys.
Rocznik
Strony
258--262
Opis fizyczny
Twórcy
  • Politechnika Koszalińska, Wydział Mechaniczny
Bibliografia
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-article-BOS3-0002-0051
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.