Narzędzia help

Preferencje help
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników
first previous next last
cannonical link button

http://yadda.icm.edu.pl:80/baztech/element/bwmeta1.element.baztech-article-BAT3-0022-0014

Czasopismo

Journal of Telecommunications and Information Technology

Tytuł artykułu

Silicon TCD for the methane and carbon monoxide detection

Autorzy Łysko, J. M.  Latecki, B.  Nikodem, M.  Górska, M.  Mróz, J.  Małachowski, M. 
Treść / Zawartość
Warianty tytułu
Języki publikacji EN
Abstrakty
EN Analytical model, design principles, technology and test results concerning a thermal conductivity detector (TCD) are presented. Prototype TCD units fabricated using the standard silicon IC VLSI and MEMS techniques are reported. The detectors are integrated with gas separation columns and micro-valve dosing systems. Initial tests were carried out in a gas mixture containing methane, carbon monoxide, oxygen, hydrogen and nitrogen.
Słowa kluczowe
EN detector   silicon   gas mixture  
Wydawca Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy
Czasopismo Journal of Telecommunications and Information Technology
Rocznik 2005
Tom nr 1
Strony 94--97
Opis fizyczny Bibliogr. 6 poz., il.
Twórcy
autor Łysko, J. M.
autor Latecki, B.
autor Nikodem, M.
autor Górska, M.
  • Institute of Electron Technology, Lotników av. 32/46, 02-668 Warsaw, Poland, gorska@ite.waw.pl
autor Mróz, J.
  • The Research and Development Center for Electrical Engineering and Automation in Mining (EMAG) Leopolda st 31 40-189 Katowice, Poland, mroz@emag.katowice.pl
autor Małachowski, M.
  • The Research and Development Center for Electrical Engineering and Automation in Mining (EMAG) Leopolda st 31 40-189 Katowice, Poland, malach@emag.katowice.pl
Bibliografia
[1] M. Koch, A. Evans, and A. Brunnschweiler, Microfluidic Technology and Applications. Baldock, Hertfordshire: RSP, 2000.
[2] T. S. J. Lammerink, N. R. Tas, M. Elwenspoek, and J. H. J. Fluitman, "Micro-liquid flow sensor", Sens. Actuat., vol. A37-38, pp. 45-50, 1993.
[3] B. Latecki, J. Łozinko, Jan M. Łysko, "Krzemowy katarometr - model analityczny", Elektronizacja, no. 12, pp. 23-25, 2001 (in Polish).
[4] J. M. Łysko, J. Łozinko, B. Latecki, M. Górska, K. Hejduk, and H. Wrzesińska, "Pt resistors technology for the TCD application", in Proc. Joint IMEKO TC-1 & XXXIV MKM Conf., Wrocław, Poland, 2002, vol. III, pp. 111-118.
[5] J. M. Łysko, M. Górska, A. Panas, K. Studzińska, and H. Wrzesińska, "BSC-type contacts formation in the katarometer technological sequence", in Proc. Joint IMEKO TC-1 & XXXIV MKM Conf., Wrocław, Poland, 2002, vol. III, pp. 103-110.
[6] J. M. Łysko, M. Nikodem, B. Latecki, M. Górska, and K. Studzińska, "Elements of the silicon TCD design and technology", in Proc. 6th Int. Symp. Microelectron. Technol. Microsyst., Lviv, Ukraine, 2002 also J. Lviv Polytech. Nat. Univ., vol. 458, pp. 61-66.
Kolekcja BazTech
Identyfikator YADDA bwmeta1.element.baztech-article-BAT3-0022-0014
Identyfikatory