Narzędzia help

Preferencje help
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników
cannonical link button

http://yadda.icm.edu.pl:80/baztech/element/bwmeta1.element.baztech-article-BAT3-0022-0013

Czasopismo

Journal of Telecommunications and Information Technology

Tytuł artykułu

TSSOI as an efficient tool for diagnostics of SOI technology in Institute of Electron Technology

Autorzy Barański, M.  Domański, K.  Grabiec, P.  Grodner, M.  Jaroszewicz, B.  Kociubiński, A.  Kucewicz, W.  Kucharski, K.  Marczewski, J.  Niemiec, H.  Sapor, M.  Tomaszewski, D. 
Treść / Zawartość
Warianty tytułu
Języki publikacji EN
Abstrakty
EN This paper reports a test structure for characterization of a new technology combining a standard CMOS process with pixel detector manufacturing technique. These processes are combined on a single thick-_lm SOI wafer. Preliminary results of the measurements performed on both MOS SOI transistors and dedicated SOI test structures are described in detail.
Słowa kluczowe
EN SOI CMOS technology   pixel detector   test structure  
Wydawca Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy
Czasopismo Journal of Telecommunications and Information Technology
Rocznik 2005
Tom nr 1
Strony 85--93
Opis fizyczny Bibliogr. 6 poz., il.
Twórcy
autor Barański, M.
autor Domański, K.
  • Institute of Electron Technology Lotników av. 32/46 02-668 Warsaw, Poland, kdoman@ite.waw.pl
autor Grabiec, P.
autor Grodner, M.
autor Jaroszewicz, B.
autor Kociubiński, A.
  • Institute of Electron Technology Lotników av. 32/46 02-668 Warsaw, Poland, akociub@wp.pl
autor Kucewicz, W.
autor Kucharski, K.
autor Marczewski, J.
  • Institute of Electron Technology Lotników av. 32/46 02-668 Warsaw, Poland, jmarcz@ite.waw.pl
autor Niemiec, H.
autor Sapor, M.
autor Tomaszewski, D.
Bibliografia
[1] M. Caccia et al., "Silicon ultra fast cameras for electron and gamma sources in medical applications", in 8th Top. Sem. Innov. Part. Radiat. Detec., Siena, Italy, 2002 (Nucl. Phys. B { Proc. Suppl., vol. 125, pp. 133-138, 2003).
[2] J. Marczewski et al., "Monolithic silicon pixel detectors in SOI technology", in Lin. Coll. Worksh., Prague, Czech Republic, 2002, http://hep2.fzu.cz/ecfadesy/Talks/ Vertex Detector.
[3] H. Niemiec et al., "Technology development for silicon monolithic pixel sensor in SOI technology", in 10th Int. Conf. MIXDES, Łódź, Poland, 2003, pp. 508-511.
[4] D. Tomaszewski et al., "A versatile tool for MOSFETs parameters extraction", in 6th Symp. Diagn. & Yield, Warsaw, Poland, 2003.
[5] M. Sadowski and D. Tomaszewski, "An effcient approach to the measurement and characterization of MOSFETs capacitances", Microelectron. Reliab., vol. 40, pp. 1045{1049, 2000.
[6] J. Zając et al. "Semi-automatic test system for characterisation of ASIC/MPWs", in 6th Symp. Diagn. & Yield, Warsaw, Poland, 2003.
Kolekcja BazTech
Identyfikator YADDA bwmeta1.element.baztech-article-BAT3-0022-0013
Identyfikatory