Rezonator kwarcowy z akustyczną falą powierzchniową do zastosowań w czujnikach gazowych

• Autorzy: Soluch W. , Dąbrowska E.

Warianty tytułu

EN

Surface acoustic wave quartz resonator for applications in gas sensors

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Przedstawiono właściwości rezonatora kwarcowego z akustyczną falą powierzchniową (AFP) przeznaczonego do zastosowań w czujnikach gazowych. Na częstotliwości ok. 197 MHz uzyskano tłumienność wtrącenia ok. 12 dB i dobroć rezonatora obciążonego ok. 14000. Stwierdzono, że warstwa SiO2 o grubości 50 nm zabezpiecza rezonator przed agresywnym wpływem środowiska. Rezonator z warstwą adsorpcyjną trójetanoloaminy zmodyfikowanej kwasem borowym zastosowano do pomiarów stężenia SO2.

EN

Properties of a quartz surface acoustic wave (SAW) resonator for applications in gas sensors are presented. At a frequency of about 197 MHz, insertion loss and loaded quality factor of about 12 db and 14 000, respectively, were obtained. It was found that SiO2 layer of 50 nm thick is sufficient for the resonator protection against aggressive effect of an environment. The resonator with an adsorption layer of triethanolamine modified with boric acid was used for SO2 concentration measurements.

Słowa kluczowe

PL

rezonator kwarcowy; akustyczna fala powierzchniowa; czujnik gazowy; czujnik SO2

EN

quartz resonator; surface acoustic wave; gas sensor; SO2 sensor

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2005
• Tom: Vol. 46, nr 5
• Strony: 45--47
• Opis fizyczny: Bibliogr. 3 poz., rys. tab.

Twórcy

autor

Soluch W.

• Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych, Warszawa

autor

Dąbrowska E.

• Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych, Warszawa

Bibliografia

• 1. McGill R.A. et al.: Performance optimization of surface acoustic wave chemical sensors. IEEE Trans, on UFFC, vol. 45, no 5, 1998, pp. 1370-1380.
• 2. Soluch W.: Scattering analysis of two-port SAW resonators. lEEE Trans. on UFFC, vol. 48, no 3, 2001, pp. 769-772.
• 3. Quin S. et al.: The sensitivity to SO2 of the SAW gas sensor with triethanolamine modified with boric acid. Sensors and Actuators B, vol. 66, 2000, pp. 240-242.