Duże przesunięcia z nanometryczną rozdzielczością

• Autorzy: Szafarczyk M
• Języki publikacji: PL

Słowa kluczowe

PL

przesunięcie; rozdzielczość nanometryczna

EN

positioning; sub-nanometer resolution

• Wydawca: Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
• Czasopismo: Mechanik
• Rocznik: 2012
• Tom: R. 85, nr 7
• Strony: 576
• Opis fizyczny: Bibliogr. 1 poz., rys.

Twórcy

autor

Szafarczyk M

Bibliografia

• 1. H. SHINNO, H. YOSHIOKA, H. SAWANO: A newly developed long range positioning table system with a sub-nanometer resolution. CIRP Annals - Manufacturing Technology 60/1 (2011).